11月4日恒邁光學(xué)精密機械（杭州）有限公司在杭州組織召開了1米大口徑應(yīng)力檢測儀的出廠驗收評審，有來自北京人工晶體總院有限公司、中物院8所、菲利華石英玻璃有限公司、中國建筑材料科學(xué)研究總院、神光石英有限公司、上海光機所等單位的多名專家參加了驗收評審。大家一致認(rèn)為該臺應(yīng)力儀指標(biāo)全部滿足合同指標(biāo)要求，可以達(dá)到國外同等水平。
應(yīng)力儀主機
應(yīng)力儀測量結(jié)果
應(yīng)力儀測試界面
該應(yīng)力儀主機是基于偏振光測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā)的，設(shè)備自主可控率可以達(dá)100%。設(shè)備測試精度優(yōu)于0.1nm/cm、單口徑測量時間小于2s、可自動以文件形式存儲測量結(jié)果并將測量結(jié)果以二維圖像顯示。實際元件的測量口徑可以通過數(shù)字化拼接進(jìn)行擴大，最大可以滿足2米及以上元件的測量需求。該設(shè)備的研制成功可以進(jìn)一步打破我國在該類儀器領(lǐng)域面臨的進(jìn)口受限的局面。
公司介紹
恒邁光學(xué)精密機械（杭州）有限公司成立于2020年01月，注冊資金壹仟壹佰貳拾萬元，坐落于富春江畔的浙江省杭州市富陽區(qū)，是杭州光學(xué)精密機械研究所重點孵化的高科技創(chuàng)新型企業(yè)，公司核心創(chuàng)始人和技術(shù)團(tuán)隊由多名具有國外留學(xué)經(jīng)歷博士、博士后以及具有光學(xué)和半導(dǎo)體領(lǐng)域資深背景的專業(yè)人士組成。研發(fā)人員碩士以上學(xué)歷比例達(dá)到80%，公司有近2000平方米的百級、千級潔凈等級的關(guān)鍵技術(shù)實驗室與總成車間。檢測設(shè)備齊全，具有較強的硬件支撐能力，公司專注于超精密光學(xué)加工裝備、半導(dǎo)體CMP拋光裝備以及精密檢測儀器的設(shè)計研制與開發(fā)，公司擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)的高動態(tài)、高剛度和高效能的機床設(shè)計技術(shù)、加工過程“實時原位”檢測技術(shù)和基于“穩(wěn)、準(zhǔn)、精”的先進(jìn)光學(xué)測量技術(shù)，加工設(shè)備與檢測儀器雙引擎驅(qū)動、雙劍合璧。
產(chǎn)品中心
光學(xué)精密加工裝備（智能環(huán)型拋光機、機器人拋光機、離子束拋光機）
半導(dǎo)體加工裝備（晶圓CMP、掩模基板拋光機等）
精密檢測儀器（波長移相激光干涉儀、數(shù)字應(yīng)力儀等）
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